[진공기술][진공][진공펌프][진공장치][진공도측정도구][피라니게이지]진공기술의 응용과 진공펌프의 분류 및 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지 분석(진공기술, 진공펌프, 진공장치, 피라니게이지)

소개글

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목차

Ⅰ. 진공기술의 응용

Ⅱ. 진공펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
1) Stream ejecter 펌프
2) Water jet 펌프

Ⅲ. 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지

참고문헌

본문내용

에 고속의 수증기를 이용하고 수Torr까지 사용이 가능하다.
2) Water jet 펌프
수압을 이용하여 간단한 진공 또는 흡입 장치로 사용하는데, 유속이 빠른 곳에서 압력이 낮아진다는 베르누이 정리를 이용한 방법이다.
Ⅲ. 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지
피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진공장치에 연결한 것이다. 이 필라멘트에 전류를 흘려서 전기저항을 측정함으로써 온도를 통해 필라멘트에서 상실된 열을 알고, 그 측정값을 통해 간접적으로 진공장치 안의 진공도를 측정한다. 관구에 들어가는 회로는 다음과 같은 휘트스톤 브리지이다.
휘트스톤 브리지에서 통상 알고자하는 저항대신 고온 필라멘트로 대치하면 튜브 속의 고온의 필라멘트가 압력에 비례하여 기체분자에 의해 열을 뺏겨 저항이 감소된다. 이 저항의 변화가 검류계 A에 전류로 나타나고 가변저항 R3를 조절하여 검류계 A에 흐르는 전류를 없애면 저항 R4를 구할 수 있다.
하지만 피라니 게이지는 필라멘트의 온도가 기체의 열전도에 의한 분산 뿐만이 아니고 도선에서 상실되는 열이나 주위의 온도조건 등에도 영향을 받기 때문에 자주 교정(較正)을 필요로 하는 어려운 점도 있다.
※ 진공장치의 취급시 주의점
(1) 맨손으로 만지지 않는다.
진공장치를 취급할 경우, 가능한 한 빨리 목표로 하는 압력까지 배기하는 것은, 진공실험이나 공정의 능률을 올리는 것 이상으로 중요하다. 생산장치의 경우는 생산비용에 직접 관계된다. 특히 초고진공의 경우에는 진공장치를 맨손으로 만지면 손가락에 묻어 있는 땀이나 오염으로 인한 가스방출을 무시할 수 없게 되어 목적을 달성할 수 없는 경우가 생긴다. 영어로 손가락에 의한 오염을 핑거 프린트(fingerprint)라 한다. 더구나 반도체 웨이퍼나 전자현미경으로 관찰하는 샘플에 지문이 묻어 있으면, 땀과 기름에 의한 효과 때문에 완전히 헛수고가 된다.
만일 웨이퍼를 맨손으로 만졌다면 스퍼터링(sputtering) 등으로 박막을 증착시켜도 박리하는 등의 결함이 생긴다. 그리고 사람의 입김이나 타액에는 체액이 포함되어 있기 때문에, 플랜지의 실(seal)부 등 진공장치에 부착되어 있는 미소먼지 등을 입김으로 불어내는일은 있을 수도 없는 일이다. 초고진공 장치를 취급하기 위해서는 반도체 정도는 아니라 하더라도, 적어도 장갑을 끼고 맨손으로 만지지 않도록 하고 있다. 극고진공에 대응하기 위해 마스크를 하기도 한다.
(2) 수분이나 기름 오염, 미소먼지로부터 보호한다.
진공으로 배기할 경우 배기 시간을 지연시키는 것은 수분 등의 흡착 때문이라는 것은 이미 이야기했다. 그러므로 진공장치를 수분이나 기름 오염으로부터 보호하는 것이 절실하다. 또한 맨손으로 만지지 않고, 사람의 입김이 미치지 않도록 작업할 때는 깨끗한 장갑과 마스크를 한다.
(3) 흠이 생기지 않도록 한다.
플랜지 등 진공 실(seal)의 나이프에지(knife-edge)는 고도의 실을 하는 중요한 부분으로, 눈에 보이지 않을 정도의 흠으로도 리크가 생기는 경우가 있기 때문에, 흠이 생기지 않도록 세심한 주의를 기울여야 한다.
참고문헌
김효배·주장헌(2005) : 화학산업 진공기술 Workshop, 성원에드워드(주)
배석희 외 2명 : 진공공학, 한국경제신문
배석희·인상렬·정광호·이영백·신용현(2000) : 진공공학, 한국경제신문, 한경BP
안일신(1999) : 진공물리 및 진공기술, 한양대학교 출판부
정석민·이진원·박종윤(2001) : 진공과학입문, 청문각

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진공기술,   진공,   진공펌프,   진공장치,   피라니게이지