32 PVD(evaporation)

목차

Ch 1. Deposition
Ch 2. Thermal Evaporation
Ch 3. E-beam Evaporation
Ch 4. PVD

본문내용

정의

진공 중에서 코팅 시키고자 하는 물질을 물리적 방법 또는 화학적 방법을 사용하여 기판 위에 피막을 형성하는 방법

분류
증착 시키려는 물질이 기판으로 기체상태에서 고체상태로 변화 될 때 과정

Physical Vapor Deposition ; PVD
형성시키고자 하는 박막과 같은 재료를 진공 중에서
가열 증발 시켜 기판에 부착 시키는 기술

Chemical Vapor Deposition ;CVD
기판에 증착될때 화학반응을 일으켜 고체화됨

키워드

무지개,   반사의 법칙,   물방울,   반도체,   나노,   반도체공학,   공대,   반사