표면저항실험_예비레폿

소개글

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목차

1. 목적
2. 이론 및 원리
3. 저항종류
4. 측정방법

본문내용

BUS BAR 에 부착된 METER 의 수치는 "OHMS PER SQUARE " 를 나타낸다. 그러나 실제로 ESD를 방지하기 위해 사용되는 대부분의 물질은 정사각형이 아니다. 그러므로 표면저항은 단지 전기적으로 접촉하는 두 점 사이의 실제 저항에 대한 근사치이다. 여기서 실제 저항은 앞의 [a-3] 식을 사용하여 계산하는 방법과 Ohm-Meter 를 사용하여 측정하는 방법이 있다. ρs = ρv / t ---[b-1], ρst =ρv ---[b-2] 두 식에서 ρs는 동일한 물질이라도 그 물질의 두께 t 에 따라 변화한다. 그러므로 동일한 물질의 체적저항에서 ρs 와 ρv 의 관계는 두께 t 가 주어지지 않는 한 의미가 없다. 부도체의 표면에 전도성 물질을 입힌 경우 저항을 나타내는 Parameter 로는 일반적으로 표면저항을 사용하며 전도층의 두께는 대부분 일정하고 부도체인 BASE 물질의 체적저항 ρv 가 전도성 표면물질의 저항보다 상대적으로 큰 경우는 BASE 물질의 두께에 영향을 받지 않는다. 감소시간은 표면저항을 측정하는 또 하나의 방법이며 어떤 물질을 정전기로 대전하여 원래 전압의 10% 수준까지 내려가는데 걸리는 시간을 측정하는 것이다.

키워드

정전기,   저항,   표면,   표면저항,   표면저항실험