본문내용
이용한 에칭
Dry Etching은 화학적 약품 대신 가스를 사용하여 플라즈마 상태에서 물리적 반응을 일
으켜 부식 시키는 것을 말한다. ex) 이온을 이용
◎참고문헌
- 에칭
http://terms.naver.com/entry.nhn?cid=2916&docId=1583916&mobile&categoryId=2916 (네이버 지식 백과)
http://me.cau.ac.kr/~microsys/kor/mari_board/data/data/(5)%20Etching(10)STD.pdf
- 광학현미경
http://terms.naver.com/entry.nhn?cid=200000000&docId=1065194&mobile&categoryId=200000457 (네이버 지식백과)
- 재료공학개론 : 4장 참조
Dry Etching은 화학적 약품 대신 가스를 사용하여 플라즈마 상태에서 물리적 반응을 일
으켜 부식 시키는 것을 말한다. ex) 이온을 이용
◎참고문헌
- 에칭
http://terms.naver.com/entry.nhn?cid=2916&docId=1583916&mobile&categoryId=2916 (네이버 지식 백과)
http://me.cau.ac.kr/~microsys/kor/mari_board/data/data/(5)%20Etching(10)STD.pdf
- 광학현미경
http://terms.naver.com/entry.nhn?cid=200000000&docId=1065194&mobile&categoryId=200000457 (네이버 지식백과)
- 재료공학개론 : 4장 참조
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