목차
1. 실험 날짜
2. 실험 제목
3. 결과 및 분석
4. 토의 및 고찰
5. 조사할 내용
6. 참고문헌
2. 실험 제목
3. 결과 및 분석
4. 토의 및 고찰
5. 조사할 내용
6. 참고문헌
본문내용
ction angle은 약 0.05 - 0.1 sr 인데, 이는 시료에서 나오는 x-ray photons이 4 &pi sr임을 고려하면 극히 일부분에 지나지 않는다. Collection angle은 active area를 늘리거나 혹은 detectro와 시편과의 거리를 줄임에 의하여 크게 할 수 있지만 전자현미경내 시편주위의 공간이 제한되어 있으므로 한계가 있다. 또한 Si chip은 electric noise를 최소화하기 위하여 액체질소속에 담기어져 있고 시료에서부터 나온 hydrocarbon에 의한 오염을 방지하기 위하여 얇은 Be window로 보호되어 있다. 따라서 Be window의 두께때문에 dectection angle이 제한되어 대개의 경우 원자번호가 10 이하인 원소는 시편에서 나온 X-ray가 Be-windows에 흡수되어 탐지가 어려우나, 경상대학교 공동실험관에 있는 EDS와 같은 경우에는 ultra-thin window를 사용하여 원자번호가 5인 B(Boron)까지 탐지가 가능하다. 그렇지만 1 keV 이하의 에너지는 시료로 부터 X-ray의 발생 효율(fluorescence yield)가 작을 뿐만 아니라 EDS로 분석하는 효율도 감소하기 때문에 원자번호가 작은 경우에 정확한 분석이 어렵다.
일반적으로 EDS의 분해능은 약 150 - 160 eV로서 때로는 peak들이 서로 중첩되어 정확한 정량분석이 어려울 경우도 있다. 이를 극복하기 위하여 WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy)를 사용하기도 한다. WDS는 X-ray를 탐지하는데 있더 EDS보다 효율이 떨어져 약 30%정도밖에 되지 않고 detection angle도 0.001 sr 밖에 되지 않아 Data 취득시간이 EDS보다 훨씬 오래 걸린다. 그렇지만 다음 그림과 같이 EDS와 WDS의 분해능을 비교하면 월등히 WDS가 우수함을 알 수 있다. [3]
6. 참고문헌
[1]. http://ko.wikipedia.org/wiki/%ED%91%B8%EB%A6%AC%EC%97%90_%EB%B3%80%ED%99%98_%EC%A0%81%EC%99%B8%EC%84%A0_%EB%B6%84%EA%B4%91%ED%95%99
[2]. http://idpass80.blog.me/60055493812
[3]. http://blog.naver.com/ezeun228?Redirect=Log&logNo=80013109297
일반적으로 EDS의 분해능은 약 150 - 160 eV로서 때로는 peak들이 서로 중첩되어 정확한 정량분석이 어려울 경우도 있다. 이를 극복하기 위하여 WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy)를 사용하기도 한다. WDS는 X-ray를 탐지하는데 있더 EDS보다 효율이 떨어져 약 30%정도밖에 되지 않고 detection angle도 0.001 sr 밖에 되지 않아 Data 취득시간이 EDS보다 훨씬 오래 걸린다. 그렇지만 다음 그림과 같이 EDS와 WDS의 분해능을 비교하면 월등히 WDS가 우수함을 알 수 있다. [3]
6. 참고문헌
[1]. http://ko.wikipedia.org/wiki/%ED%91%B8%EB%A6%AC%EC%97%90_%EB%B3%80%ED%99%98_%EC%A0%81%EC%99%B8%EC%84%A0_%EB%B6%84%EA%B4%91%ED%95%99
[2]. http://idpass80.blog.me/60055493812
[3]. http://blog.naver.com/ezeun228?Redirect=Log&logNo=80013109297
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