반도체공학 실험 - Metal Deposition
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소개글

반도체공학 실험 - Metal Deposition에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 실험 목적
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
<결론>

본문내용

1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Dry etching’을 실시한 후 Si기판 위에 금속을
증착시키는 공정인 ‘Metal deposition’을 실시하여 기판의 면저항을 측정한다. 증착시키는
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  • 페이지수5페이지
  • 등록일2015.02.23
  • 저작시기2015.2
  • 파일형식기타(docx)
  • 자료번호#957118
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