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논문 1건

[논문] 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작
실험을 진행하였다. 노광시간과 감광제 도포 조건에 대한 패턴 형상의 특성과 경향성을 고찰하였으며, 노광시간 55초와 감광제 도포 두께 150nm라는 공정 조건을 산출하였다. 이러한 과정을 거친 패턴을 이용해 반응성 이온 식각 공정을 적용,
홀로그래픽|리소그래피|RIE|분광기|UV molding|UV imprinting|Photoresist|노광, 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작,
  • 페이지 26페이지
  • 가격 3,000원
  • 발행일 2010.03.05
  • 파일종류 한글(hwp)
  • 발행기관
  • 저자
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