목차
1) 조제 用 Powder 운반
2) NV-1 Vessel에 N2 소량 공급 (70%)
3) Powder 투입 Vessel Cover를 Open
4) Powder Feeding 량 확인 Sheet
2) NV-1 Vessel에 N2 소량 공급 (70%)
3) Powder 투입 Vessel Cover를 Open
4) Powder Feeding 량 확인 Sheet
본문내용
조제 用 Powder을 Powder 조제 Room으로 운반한다.
소개글