ITOscribingcleaning A+ 레포트 건국대학교 고분자재료과학

소개글

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목차

1.실험제목
2.실험조&실험자
3.실험목적
4.실험이론
5.장치 및 시약
6.실험방법
7.참고문헌

본문내용

송파를 감지했다는 것을 나타내는 제어 신호이다. 주 컴퓨터의 모뎀이 발신하는 반송파 신호를 받아들이지 않는 경우 회선 접속이 안 된 상태를 나타내는 ‘no carrier’라는 문자가 화면에 뜬다.
[19]
◎N2 gun
여과 정도0.01㎛의 중공사막 필터를 채용·배관으로부터 유출하는 물·불순물·기름을 셧아웃 해, 깨끗한 에어 환경을 제공한다. 정밀 기계·인쇄·도장·식품·광학 부품 관련 등의 에아브로우· 에어 배관, 반도체, PDP, LDC 장비로 사용된다.
[20]
◎Scriber
웨이퍼를 다수의 칩으로 잘라내기 위해 다이아몬드 커터 등으로 웨이퍼 표면에 가로 · 세로로 흠을 내는 것. 스크라이브한 웨이퍼는 롤러로 가볍게 롤함으로써 칩으로 분리할 수 있다.
[6]
◎Wet station
반도체 공정 중에 발생되는 오염물 Cleaning 및 Etching ,Develop, Strip 작업을 할 수 있는 Wet Process의 대표적인 장비로 적용공정에 따라 다양하게 제작되며 여러 가지 JIG, CASSETTE, APR UV등 UNIT의 특성에 맞게 설계하여 최적화된 장비이다.
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◎Hot plate(또는 Oven)
전열기(가열판)는, 밑이 평탄한 플레이트와 가열 요소를 겸비한 전열 응용제품을 말하며, 플레이트에 가열해야 할 물건을 올려놓게 되어있다. 전열기에 의한 화재발생은 일반적으로 불량한 사용상태에서 연속 사용, 방치 또는 불량기구의 사용에 의해 근접한 가연물에 옮겨 붙는 연소사고가 많다. 전열기를 사용하는데 주의사항은 다음과 같다.
(1) 열판의 밑 부위에 차열판이 있는 것을 사용할 것.
(2) 점멸을 확실하게 하는 것(통전 유무를 표시하는 파일럿 램프를 설치하는 것이 바람직하다).
(3) 인조석, 석면, 벽돌 등의 단열성 불연재료의 깔판을 사용할 것.
(4) 일반 화구와 같이 주위 30~50㎝, 위쪽 1~1.5m 이내에 가면물을 근접시키지 않을 것.
(5) 배선ㆍ코드 용량에 주의하고 과열을 방지할 것.
(6) 본래의 용도 이외의 목적에 사용하지 않을 것.
(7) 일반 화재와 똑같은 조직적인 관리를 할 것.
6. 실험방법
1)ITO 기판의 Scribing
① ITO coating면을 위로 향하게 하여Scriber 위에 올려놓고 진공펌프를 작동시켜 고정시킨다.
② 원하는 크기(35mm×35mm)의 Size로 ITO Glass를 자르고 질소(또는 에어)를 이용하여 유리가루 등의 이물질을 불어낸다.
2)ITO 기판의 전처리 방법
ITO를 전처리 하는 방법은 다양하지만 아래 설명한 두가지 방법중 한가지 방법을 이용하여 전처리 과정을 연습해 본다.
① Toluene(20분)→ DI rinse(10분)→ IPA(20분)→ DI rinse(10분)→ MeOH(10분)→ DI rinse(10분)→질소로 물기제거→Oven 건조(100℃, 15분)→UVO Clean(10분)
② Detergent(Alconoxⓡ) Acetone(20분)→DI rinse(10분)→IPA(20분)→DI rinse(10분)→질소로 물기제거→Hot plate 건조(110℃, 10분)→UVO Cleaning(10분)
7. 참고 문헌
[1]. http://dlps.nanet.go.kr/DlibViewer.do?cn=KDMT1200437387&sysid=nhn
[2]. http://iopscience.iop.org/0963-0252/21/5/055030/article
[3]. http://www.sunhayato-korea.com/ozon-cleaner.htm
[4]. http://blog.naver.com/caliper9/30092485925
[5]. http://blog.naver.com/alconoxkorea/10165390132
[6].
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=758429&mobile&cid=50324&categoryId=50324
[7]. https://en.wikipedia.org/wiki/Isopropyl_alcohol
[8].
https://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%95%84%EC%9D%B4%EC%86%8C%ED%94%84%EB%A1%9C%ED%95%84_%EC%95%8C%EC%BD%94%EC%98%AC
[9]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1153239&cid=40942&categoryId=32251
[10]. https://en.wikipedia.org/wiki/Toluene
[11]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=607306&cid=42420&categoryId=42420
[12]. https://en.wikipedia.org/wiki/Acetone
[13]. http://www.92jse.com/UVOzone_cleaner.htm
[14]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1143922&cid=40942&categoryId=32251
[15]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=513897&cid=42407&categoryId=42407
[16]. https://en.wikipedia.org/wiki/Methanol
[17]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=760670&cid=42341&categoryId=42341
[18]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1160238&cid=40942&categoryId=32335
[19]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=849972&cid=42346&categoryId=42346
[20]. http://cafe.naver.com/6cmt/200
[21]. http://csyeng.co.kr/csyeng/product/sub1.php?section=01
[22]. http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=508600&cid=42380&categoryId=42380

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건국대학교,   고분자재료실험,   화학공학과,   ito,   scribing,   Cleaning