진공 펌프

목차

1.기름 회전 펌프

2.기름 확산 펌프

3.흡착 펌프

4.터보 분자 펌프

5.이온펌프

6.게터펌프

7.크라이오펌프

본문내용

헬륨온도 에서는 헬륨이외의 모든 가스가 응축된다.즉 펌프가 되는 것이다.
일반적으로 크라이오 펌프에서는 차콜이라 불리는 활성 탄을 덧붙이고 있다. 크라이오 펌프에서는 액체헬륨 혹은 약간 온도가 높은 헬륨가스 로 냉각하고 있으며 헬륨이외의 모든 가스를 응축 할 수 잇다. 액체 헬륨 크라이오 펌프에서는 냉각 면을 확 보 하기 위해 액체헬륨을 저장해 두는 방식과 액체 헬륨을 순환시키는 방식이 있는데 어느 것이나 4.2K 이며, 이러한 것들은 연구에 사용되는 정도이고 일반적이지는 않다 .
크라이오 펌프 자체는 초고진공의 성능 을 갖고 있기 때문에, 메탈 실 (metal seal)로 하여 초고진공의 성능을 갖고 있기 때문에, 장시간 사용 후에는 냉각면의 온도를 올려 응축 가스를 제거하는 재 활성화가 필요하다.

키워드

진공 펌프,   로터리 펌프,   기름 확산,   흡착,   이온펌프,   터보 분자