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터보 분자 펌프 시스템
장점 : 덤핑으로부터 빨리 복구, 스타트가 빠르다, 일정한 속도, 오일 을 사용하지 않아 깨끗하다, 운영비용이 싸다, 높은 쓰루푸 트, 오염에 잘 견딘다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
단점 : 입자에 민감, 기계적 펌프가
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성능을 갖고 있기 때문에, 장시간 사용 후에는 냉각면의 온도를 올려 응축 가스를 제거하는 재 활성화가 필요하다. 1.기름 회전 펌프
2.기름 확산 펌프
3.흡착 펌프
4.터보 분자 펌프
5.이온펌프
6.게터펌프
7.크라이오펌프
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터보 분자 펌프]
▲ 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습
[Turbo molecular pump 의 원리]
터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 지
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전자(rotator)와 고정자(stator)의
작동에 따른 분자 경로의 변화
그림 7에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. 날의 각은 배출구 쪽으로 갈수록 더 많이 기우는데 이는 흡입구에서는 진공용기와의 압력차가 크지 않고 또한 많은 기체
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전자(rotator)와 고정자(stator)의
작동에 따른 분자 경로의 변화
그림 7에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. 날의 각은 배출구 쪽으로 갈수록 더 많이 기우는데 이는 흡입구에서는 진공용기와의 압력차가 크지 않고 또한 많은 기체
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