진공 펌프 그림과 장단점

소개글

진공 펌프 그림과 장단점에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 확산 펌프 시스템

2. 터보 분자 펌프 시스템

3. 크라이오 펌프 시스템

4. 부스터/송풍기 시스템

5. 이온 펌프 시스템

6. 기계적 펌프 시스템

본문내용

1. 확산 펌프 시스템
장점 : 간편/ 신뢰성, 고속, 일정한 속도, 높은 쓰루푸트, 연속동작, 값이 싸다, 오염에 잘 견딘다, 움직이는 부분이 없다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
단점 : 오일 역류성, 기계적 펌프가 필요, 크라이오 트랩에 가 필 요, 운영비용이 비싸다, 사고가 나기 쉽다, 수직으로 설치되 어야 한다, 적당한 동작이 중요, 이상
2. 터보 분자 펌프 시스템
장점 : 덤핑으로부터 빨리 복구, 스타트가 빠르다, 일정한 속도, 오일 을 사용하지 않아 깨끗하다, 운영비용이 싸다, 높은 쓰루푸 트, 오염에 잘 견딘다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
단점 : 입자에 민감, 기계적 펌프가 필요, 높은 rpm(소음/진동), 수소 와 헬륨에 대해서 저속, 유지 보수비용이 비싸다, 이상, 초기 설치비가 비싸다
3. 크라이오 펌프 시스템
장점 : 고속, 매우 높은 쓰루푸트, 깨끗하다, 기계적 펌프가 계속적으 로 필요하지 않다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
단점 : 재생이 필요, 주기적인 유지 보수가 필요, 고순도 헬륨이 필 요, 수소와 헬륨에 대해서 저속, 저주파 진동, 수소의 폭발 가능성이 있다, 몇 개의 응용 제한
4. 부스터/송풍기 시스템
장점 : 배기 속도가 빠르다, 높은 쓰루푸트, 10torr 이상, 운영비용 이 싸다, 초기 설치비가 적당하다, 작은 것과 큰 사이즈가 있 다, 오일 실이 아니다, 먼지산소부식에 강하다
단점 : 기계적 펌프가 필요, 정확한 기계적 오차 허용, 베어링에 냉 각과 윤활유가 필요, 이하, 시끄럽다
5. 이온 펌프 시스템
장점 : 대단히 깨끗하다(UHV), 운영비용이 싸다, 실수에 안전, 보조 펌프의 불필요, 유지 보수비용이 싸다, TSP로 이하, 장기간 운영, 스스로 조정한다, 작은 것에서부터 중간 사이즈 까지 있다, 잡음과 진동이 없다
단점 : 저속/낮은 쓰루푸트, 초기 설치비가 비싸다, 압력에 따라 속 도가 변한다, 기체 종류에 따라 속도가 변한다, 진공 용기에 플라즈마가 생성, 메탄의 역류 가능성이 있다, 이상, 속도에 비해 크고 무겁다, 자석
6. 기계적 펌프 시스템
장점 : 760torr부터 배기할수 있다, 튼튼한 구조, 유지 보수비용이 싸다, 운영비용이 싸다, 초기 설치비가 싸다, 수명이 길다,
작은 것과 큰 사이즈가 있다
단점 : 오일의 역류, 기체 방전시에 오일 증기, 잡음, 이하 에서 속도가 감소, 입자에 민감, 저주파 진동

키워드

확산 펌프 시스템,   터보 분자 펌프 시스템,   크라이오 펌프 시스템,   부스터/송풍기 시스템,   이온 펌프 시스템,   기계적 펌프 시스템