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저진공 펌프의 경제적 파급효과
자) 한국표준과학연구원
이 사례는 KRISS 진공기술센터의 저진공 펌프 성능 특성평가 기술개발 프로그램을 통한 기술하부구조에서 이루어진 투자가 한국 산업에 미친 경제적 파급효과의 분석하기 위한 것이다
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펌프는 오일의 산화 등을 방지하고, 배기 효율을 높이기 위하여 로터리 펌프를 이용하여 보조 배기를 해주면서 사용하게 되는데, 이때 로터리 펌프의 용량은 오일확산펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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저진공 과정
1 mian 스위치 켠다. 단수 경보기 켠다.
2 Rotary 스위치와 주스위치 켜고 roughing 밸브를 연다.
3 약 20~30분후 Geissler Gauge 가 보라색에서 무색으로 변함을 확인하고 Foreline 밸브를 연다.
◈고진공 과정
1 Diffusion 스위치 켠다. 히터를 5~10
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저진공용 소형 펌프로 쓰이고 있다.
6. 루츠 펌프
루츠 펌프는 두 개의 리본모양의 회전 로타가 쌍을 이루며 회전함으로써 공기를 함입하여 배기시키는 것입니다. 주로 저진공, 중진공영역에서 많이 쓰이며, 용량이 대용량이므로 다량의 공기
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