진공펌프에 대한 조사

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진공펌프에 대한 조사에 대한 보고서 자료입니다.

목차

진공 펌프에 대한 조사
■ 진공도에 따른 진공 영역의 구분

■ 저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프

■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프

■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프

■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)

본문내용

진공 펌프내의 넓은 벽에 증착이 되는데 티타늄은 화학적으로 반응성이 좋아 수소, 산소, 질소들의 분자들과 결합하여 펌프속의 기체를 표면에 잡는다. 증착된 표면의 온도를 액체 질소등을 이용하여 내리면 펌핑(pumping) 효과는 배가 된다.
filament 형태로 가열하여
티타늄을 증발시키는구조
이온펌프 (ionization pump)
이온펌프는 기체를 양이온화하여, 음전하를 띠고있는 전극판쪽으로 가속시킴으로써 배기를 시키는 펌프입니다. 이러한 펌프들은 진공이 미리10Torr정도 걸려있는 소형 용기에 고진공을 걸 사용됩니다. 펌프의 용량을 증대시키기 위해 이온 펌프를 흡착펌프나 게터펌프와 같이 연결하여 사용하기도 합니다.
이온펌프 건극의 구조 이온펌프에 전극이 장착된 모습
■ Reference
<진공물리 및 진공기술> 안일신

Title : 진공 펌프에 대한 조사
School Course : 재료공학실험3
(희생양극 실험)
professor : 강성군 교수님
Due : 04. 5. 11
Student# : 2002059376
Name : 6조 최 면 희

키워드

고진공펌프,   저진공펌프,   로타리펌프,   중진공,   이온펌프,   티타늄승화펌프,   진공물리,   기어펌프