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펌프사이에 설치되어 로타리펌프 오일의 역류를 막아 주어야 오일을 사용하지 않는 냉온펌프의 장점을 살리게 된다. 또한 포획펌프이기 때문에 다른 고진공펌프와는 달리 보조펌프(backing pump)의 개념이 없다. 로타리펌프는 진공용기 및 냉온
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펌프 (ionization pump)
이온펌프는 기체를 양이온화하여, 음전하를 띠고있는 전극판쪽으로 가속시킴으로써 배기를 시키는 펌프입니다. 이러한 펌프들은 진공이 미리10Torr정도 걸려있는 소형 용기에 고진공을 걸 사용됩니다. 펌프의 용량을 증대
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pump 가동시간 : 15분
Diffusion pump 가동시간 :1시간 20분
기판 높이 :16cm
증착전류 : 70~75A
증착시간 13분
슬라이드 글라스에 알루미늄 코팅을 잘 입혀졌다.
6.논의 및 검토
진공의 개념과 진공 상태에서의 실험
장점 : 간단한 장치구성으로 다양한 물
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펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정되는데 이때의 관계식은 다음과 같다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
(2) Turbo molecular pump [터보 분자 펌프
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) (부스터 펌프, 루츠 펌프)
나) 고진공 펌프 1x10-3 torr - 1x10-8 torr
oil diffusion pump (오일 확산 펌프)
cryotraps and baffles (크라이오 트랩과 배플)
mechanical cryopump (기계적인 크라이오 펌프)
turbomolecular pump (터보 분자펌프)
다) 초고진공 펌프 1x10-8 torr 이
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