제 3 장 진공 펌프

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제 3 장 진공 펌프에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

) (부스터 펌프, 루츠 펌프)
나) 고진공 펌프 1x10-3 torr - 1x10-8 torr
oil diffusion pump (오일 확산 펌프)
cryotraps and baffles (크라이오 트랩과 배플)
mechanical cryopump (기계적인 크라이오 펌프)
turbomolecular pump (터보 분자펌프)
다) 초고진공 펌프 1x10-8 torr 이하
titanium sublimation pump (타이타늄 승화 펌프)
ion pump (이온 펌프)
Non-evaporable getter pump (비증발성 게터 펌프)
3.1 저 중진공에서 사용되는 진공펌프
3.2 기계적인 펌프
3.2.1 오일 회전 펌프
a) rotary vane oil-sealed mechanical pump
동작원리
Gaede 에 의하여 고안
-편심된 rotor -기름에 의하여 sealing 최대진공도 oil 의 증기압에 의하여 결정, 낮은 압력 동작시 oil 분자의 역류위험
b) rotary piston pump
편심된 캠의 회전에 의하여 피스톤 운동
최대 용적 Vmax , n 은 단위시간당 회전수
펌핑 스피드 S = Vmax X n
c) booster

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제 3 장 진공 펌프,   진공,   펌프