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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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저진공용 소형 펌프로 쓰이고 있다.
6. 루츠 펌프
루츠 펌프는 두 개의 리본모양의 회전 로타가 쌍을 이루며 회전함으로써 공기를 함입하여 배기시키는 것입니다. 주로 저진공, 중진공영역에서 많이 쓰이며, 용량이 대용량이므로 다량의 공기
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저진공 펌프는 반도체(LCD포함), 식품, 화학, 포장, 금속(제련), 과학연구 등에 응용되며, 저진공펌프의 연간 판매 국내 판매량은 1000원정정도로 추정되며, 주로 반도체용의 dry pump가 대부분이며, 일반산업용 등을 포함하면 판매량은 연간 약 5%
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pump 가동시간 : 15분
Diffusion pump 가동시간 :1시간 20분
기판 높이 :16cm
증착전류 : 70~75A
증착시간 13분
슬라이드 글라스에 알루미늄 코팅을 잘 입혀졌다.
6.논의 및 검토
진공의 개념과 진공 상태에서의 실험
장점 : 간단한 장치구성으로 다양한 물
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펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정되는데 이때의 관계식은 다음과 같다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
(2) Turbo molecular pump [터보 분자 펌프
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