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펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정되는데 이때의 관계식은 다음과 같다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
(2) Turbo molecular pump [터보 분자 펌프
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대해 좀 더 자세히 알게 되어 작동 원리등을 알게 되었다. 비록 이온화 게이지는 고장이 나서 직접 만져 보지는 못했지만, 레포트를 쓰면서 그에 대한 자료를 찾게 되었고 그래서 그 작동 원리를 알게 되었다.
진공을 만드는 펌프 또한 여러 가
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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, Megnetron Sputtering
- 개날라리 연구원 : 연구과제 자료조사
(http://marriott.tistory.com)
- 고체물리학 입문 (김일원, 진병문 공역, 2003, 두양사) 1. 실험이론요약
2. 실험 결과 및 데이터분석
3. 결과 토의
4. 연구과제
5. 결론
6. 참고문헌
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pump 가동시간 : 15분
Diffusion pump 가동시간 :1시간 20분
기판 높이 :16cm
증착전류 : 70~75A
증착시간 13분
슬라이드 글라스에 알루미늄 코팅을 잘 입혀졌다.
6.논의 및 검토
진공의 개념과 진공 상태에서의 실험
장점 : 간단한 장치구성으로 다양한 물
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