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증착시켜 타서 약간 금색을 띤 모습입니다.
(b)그림은 한 번 코팅된 것과 두 번 코팅된 것은 확대한 모습입니다. 색과 경계선의 차이를 느낄수 있습니다.
6.검토 및 토의
진공 증착 법으로 박막을 직접 제작함으로써 박막프로세스에 대해 이해
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2-1.박막제작방법
2-2. 물리적 증착법 (PVD, Physical Vapor Deposition)
2-3.진공 증착법(Vacuum Evaporation)
2-4. 피복층 조직
2-5. 진공 증착법의 특징
2-6. 적용 범위 및 응용
3.실험장치 및 시약
4. 실험방법
4. 분석
5. 결과 및 토의
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박막 제조법으로 제작한다. 현재 AC-PDP용 MgO 보호막은 전자빔에 의한 진공증착법, 스퍼터링에 의한 방법 ion plating법 액상으로 제작하는 방법 등이 사용되고있다. 전자빔 증착법은 전기장과 자기장으로 가속되어지는 전자빔을 MgO 시료에 충돌
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제작조건은 다음과 같다.
시편번호
기판온도(K)
기본압력
Ar 압력
power(W)
회전수(rpm)
증착시간(m)
Fe#1
290K
1.60E-08
1.50E-03
200
90
15
Fe#2
473K
1.40E-08
1.60E-03
200
90
15
Fe#3
673K
1.50E-08
1.40E-03
200
90
15
2. XRD에 의한 박막의 두께 측정
두께를 측정하기 위해 low ang
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박막공정의 기초, 최시영 외 공저, 일진사
나. 논문
최근의 대체세정제와 대체세정기술, 배재흠, 수원대학교 화공생명공학과
다. 기사
Vapor Phase Cleaning : How It Works and What Can Go Wrong by Jay Tourigny and Michael Jones, Micro Care Corporation, New Britain, CT USA&nb
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