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Ion Beam System)
1. 집속 이온빔 장치의 구조
2. 각 부분별 작동원리
3. 집속 이온빔 장치의 응용
SEM(Scanning Electron Microscope)
1. 주사전자현미경(SEM)이란?
2. SEM의 작동 원리
3. SEM의 구성
MgO 보호막
1. MgO 보호막의 조건 및 역할
2. MgO
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전자총내에서 음극을 형성한다. 텅스텐은 금속이므로 양이온과 양이온의 강한 인력 영향아래에 있는 자유전자들로서 구성되어 있다 현미경의 개발 역사
TEM의 원리
TEM의 구성
Imaging System
집광렌즈
대물렌즈
TEM 시편 준비
Br
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현미경은 빛을 시료면에 조사하여 시료를 통과한 빛 또는 반사한 빛을 렌즈계(대물,대안, 접속 등)를 거쳐 우리 망막에 영상이 맺히도록 한 것으로, 광원으로는 가시광선을 한다. 반면에 주사 전자현미경에서는 광원으로 전자빔을 사용한다.
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이온 연마가 될 수 있는 반응성이 큰 요오드와 같은 반응성 이온을 사용하여 이온 연마하는 것.
- 초점 이온 연마 : 마이크로미터 이하 단위의 특정한 영역에서 시편을 제작할 수 있다.
이온 연마를 하면서 동시에 주사 전자 현미경으로 시편의
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이온 연마가 될 수 있는 반응성이 큰 요오드와 같은 반응성 이온을 사용하여 이온 연마하는 것.
- 초점 이온 연마 : 마이크로미터 이하 단위의 특정한 영역에서 시편을 제작할 수 있다.
이온 연마를 하면서 동시에 주사 전자 현미경으로 시편의
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이온 식각 공정(RIE;Reactive Ion Etching process)과 UV 몰딩 공정을 사용하여 광 투과성 분광기를 제작 하였다. 이러한 공정은 전자빔 리소그래피(e-beam lithography)나 포토리소그래피(photo-lithography) 방식에 비해 시스템구성이 간단한 장점이 있다.
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