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기판온도 변화에 따른 박막의 두께 분석
기판의 온도를 높일수록 증착되는 Fe 입자들이 기판 위에서 에너지가 안정되는 곳으로 더 쉽게 갈 수 있기 때문에 낮은 온도에서 증착 한 것 보다 입자간 간격이 작아 결과적으로 두께도 더 작을 것으
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특성 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 2
1.3 Nano Technology의 발전의 원동력 ㆍㆍㆍㆍㆍ 2
1.3.1 나노기술의 경제·사회적 요소 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 2
1.3.2 나노기술의 과학기술적 요소 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 3
1.4 나노기술의 분류 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ
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특성
1.3 Nano Technology의 발전의 원동력
1.3.1 나노기술의 경제·사회적 요소
1.3.2 나노기술의 과학기술적 요소
1.4 나노기술의 분류
1.4.1 전자 / 통신 분야
1.4.2 환경 / 에너지 분야
1.4.3 생명공학 분야
2. 나노 분말과 나노재료
2.1. 나노
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시 많은 도움이 될 것 같다.
10. 참고문헌
가. 서적
반도체 공정기술, 황호정 저, 생능출판사
공정플라즈마 기초와 응용, Alfred Grill 저, 정진욱 역, 청문각
직접회로 제조를 위한 반도체공정 및 장치 기술 , 이형옥 저, 상학당
박막공정의 기초,
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Ag의 agglomeration과 oxidation에 의한 반사율 하락을 효과적으로 방지했음을 보여줌. 이 결과는 Ni/Ag/Mg p형 전극이 수직 구조 LED의 고반사율 전극으로서 매우 적합함을 보여주고 있음. 1. 개요
2. 이론적 배경
3. 전극 증착방법
4. LED 구조
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