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1.실험목적
2.기초이론 및 원리
3.준비 기구 및 장치
4.실험과정
5.실험결과
6.토의 및 고찰
7.인용 및 참고문헌
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던 테이프위에도 Al이 증착되어 노란색이었던 테이프의 표면이 은백색으로 금속적 광택을 띄는 것을 볼 수 있었다.
이러한 사항으로 PVD는 Polymer로 이루어진 테이프의 표면에서도 증착이 될 수 있다는 것을 실험적으로 확인할 수 있었고, 또한
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온빔 스퍼터링을 개시한 Lane논문을 포함하는 82건의 참증을 인용하는 특허성보고서 제출.
82건 각각에 대해 구별됨을 주장, 가끔 “출원인의 청구된 이온 빔 스퍼터기술이 개시되고 있지 않음.”이라고 설명했다.
1985. 10월 Litton의 경쟁사가 pr
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보고서, 전용욱, 한국경제연구원 제1절 연구배경 및 목적
제2절 일본 중소기업의 의미
제3절 일본 중소기업의 성장(발전)과정
제4절 일본 우수 중소기업의 사례 분석
제5절 일본 우수 중소기업의 특징
제6절 기술개발 연구 및
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스퍼터링
입자생성기구
열에너지
열에너지
운동량 전이
막 생성속도
높음(〈75μm/min)
높음(〈25μm/min)
순금속 외 낮음
(Cu: 1μm/min)
입자
원자, 이온
원자, 이온
원자, 이온
형상 복잡한 가공물
좋지 않음
좋음(막 불균일)
좋음(막 불균일)
가공물
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