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박막에 속한다.
◈열증발 증착법
도선에 흐르는 전기의 순수 저항을 이용하여 가열하는 방법으로 텅스텐, 티타늄 등을 이용하거나 접점저항을 이용하여 가열함.
①증발 과정시 증발체는 보통 높은 진공 상태에서 열 이 가해짐(P<10Torr)
②압
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박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공 증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착
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박막 성장 방법 중의 하나인 ‘때려내기(Sputtering)에 의한 박막 증착’방법의 원리를 이해하고, 실제로 실리콘 기판에 Cu 박막을 증착해보는 실험이었다.
진공증착법에는 크게 물리적증착, 화학적증착이 있고, 이 중 스퍼터링은 물리적 증착에
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진공 (Low vacuum)
1기압 ~ 10-3 Torr, Rough Vacuum
기체 상태의 분자 수량이 진공용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태
응용
Food process, Freeze drying, Distillation,
박막 증착(Sputtering, LPCVD : Low pressure
Chemical Vapor Deposition)
플라즈마
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박막공정
1.1. 박막공정의 정의
1.2. 박막공정의 과정
2. 세척
3. 증착
3.1. 증착의 정의
3.2. 증착의 종류
3.3. 증착의 요구 조건
4. PVD
4.1. PVD의 정의
4.2. PVD의 특성
4.3. 진공증착법
4.3.1. 진공증착법-열 증발 증착법(순수저항이
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진공도는 torr 이하로, 에 대한 유량비를 각각 0%, 1%, 2%, 4% 그리고 6%로 변화시켰다. 타겟 표면의 불순물을 제거하기 위하여 Ar가스 하에 5분간 pre-sputtering 한 후 시료의 두께가 대략 50nm 5nm가 되도록 증착하였다.
1-2. 전기적 특성 평가 (I-V)
NiO 박막
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제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
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박막 태양전지 기술현황”, 세리미스트, 제 8권, 제 5호, 2005년 10월.
14. 권세한, 이정철, 강기환, 김석기, 윤경훈, 송진수, 이두열, 안병태, “ Na 확산과 Ga 첨가에 따른 동시진공증발법으로 제조된 CIGS 박막
과 Cds/CIGS 태양전지의 특성, 태양에너
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진공, 가스 액정으로 형성되어 있으며, OLED는 기판상에 층 고체 박막을 형성하여 (박막,경량, 충격저항력, 유연성 제공) 있다.
OLED와 다른 구조를 가지고 있는 CRT, PDP 그리고 전계를 이용한 FED는 높은 전압을 이용하여 화소를 나타낸다. LCD panel
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진공도를 유지하는 것이다. 또한 대면적에서 봉지 기술도 관건이 되고 있다. 따라서 CNT-BLU는 가능성은 있지만 여전히 형광체를 사용하고 있다는 점 등에서 타 기술에 비해 큰 강점은 없는 상황으로 기술 개선의 추세를 살피는 것이 좋다.
이렇
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삼한박막진공(주)에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
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보시고는)고체확산론을 배웠는데 고체확산론에서 고체확산 방식을 말해라
Si의 결정구조는 어떻게 되는가?
대학원 입학후 무엇을 하고 싶은가?
(박막증착을 하고 싶다고 대답함)증착방법에는 어떤 방법이 있는가?
Mobility가 무엇인가?
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박막 증착 중 예기치 않은 파티클 발생을 책임지고 해결한 경험이 있습니다. 과제 평가 항목에
수율이 포함되어 있었기 때문에, 화학 기상 증착 과정에서 갑작스러운 파티클 발생은 치명적으로 다가왔습니다.
3.LG화학에서 이루고 싶은 나만
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