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고진공을 걸 사용됩니다. 펌프의 용량을 증대시키기 위해 이온 펌프를 흡착펌프나 게터펌프와 같이 연결하여 사용하기도 합니다.
이온펌프 건극의 구조 이온펌프에 전극이 장착된 모습
■ Reference
<진공물리 및 진공기술> 안일신
<http:
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펌프는 오일의 산화 등을 방지하고, 배기 효율을 높이기 위하여 로터리 펌프를 이용하여 보조 배기를 해주면서 사용하게 되는데, 이때 로터리 펌프의 용량은 오일확산펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에
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고진공 과정
1 Diffusion 스위치 켠다. 히터를 5~10분정도 가열
2 히터가 가열된 후 High vacuum 밸브를 천천히 연다.
3 이온화게이지를 켜서 Degas를 5분정도 켜둔다. Filament를 켜서 진공도를 측정
4 1~2시간 정도 진공시켜 10Torr 정도 만든다.
◈증착 과정
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고진공을 시작한다.
(고진공이란 회전오일 펌프와 오일확산 펌프를 병행해서 진공시키는 과정을 말하 며 40~150분 정도 진공시키면 ~Torr정도의 고진공이 됨)
7)진공 장치를 멈추려면 위 과정을 역순으로 하면 되며 확산부분은 1~2시간 정도 확산
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고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비 등에 많이 쓰이고 있다. 그러나 중.저진공 영역에서는 배기량이 저하되므로 로타리 베인 펌프 등의 보조펌
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