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펌프의 용량 단위
5. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
6. 진공펌프의 종류
7. 진공 펌프의 원리
1) 로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
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펌프사이에 설치되어 로타리펌프 오일의 역류를 막아 주어야 오일을 사용하지 않는 냉온펌프의 장점을 살리게 된다. 또한 포획펌프이기 때문에 다른 고진공펌프와는 달리 보조펌프(backing pump)의 개념이 없다. 로타리펌프는 진공용기 및 냉온
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
- 박 막(thin film)이란-
기계가공으로 실현 불가능한 두께 um이하의 엷은 막.
수면의 기름 막, 비누 방울이 아롱진 막, 금속 표면의 녹, 함석 ·생철의 아연
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로타리펌프로 공기를 빼기 시작하면서 디피션 펌프를 가열해준 뒤 2차로 가열된 디피션 펌프의 벨브를 열어서 남은 공기를 빼내 초기진공을 잡아야했던 것이나 컴펙트게이지에서 이온게이지로 넘겨서 게이지를 확인해야했던 것들이 복잡한
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