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로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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펌프는 활성화된 흡착제를 저온으로 냉각된 용기 안에 넣어, 여기에 기체 분자를 흡착시켜 진공상태를 만드는 펌프이다. 따라서 펌프의 용량이 흡착제가 빨아들일 수 있는 기체의 량으로 한정이 되므로 단속적인 공정을 갖는다.
12. 이온펌프
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펌프의 종류
3. 진공펌프의 원리
① 로타리 베인 펌프
② 로타리 피스톤 펌프 ③ 로타리 기어펌프
④ 피스톤 펌프
⑤ 다이아 후렘 펌프
⑥ 루츠 펌프
⑦ 수봉식 펌프
⑧ 터보 분자 펌프
⑨ 확산펌프
⑩ 이젝타 펌프
⑪ 흡착펌프
⑬ 게터
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이온화 게이지는 고장이 나서 직접 만져 보지는 못했지만, 레포트를 쓰면서 그에 대한 자료를 찾게 되었고 그래서 그 작동 원리를 알게 되었다.
진공을 만드는 펌프 또한 여러 가지인 것을 알았고 그 중 로터리 펌프와 오일 확산 펌프에 대해
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