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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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승화펌프
승화펌프의 기본원리는 게터펌프와 동일하다. 단지 여기서는 흡착물질로 티타늄의 얇은 판막을 형성하게 함으로써, 여기에 가스 입자를 흡착시켜 진공을 발생시키는 것이다.
⑮ 저온냉각펌프
저온 냉각 펌프는 120K이하의 극저온
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펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
13) 게터펌프
14) 승화펌프
15) 저
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펌프 1x10-3 torr - 1x10-8 torr
oil diffusion pump (오일 확산 펌프)
cryotraps and baffles (크라이오 트랩과 배플)
mechanical cryopump (기계적인 크라이오 펌프)
turbomolecular pump (터보 분자펌프)
다) 초고진공 펌프 1x10-8 torr 이하
titanium sublimation pump (타이타늄 승화
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티타늄 표면을 형성하여 gettering으로 기체입자를 붙잡는다. (새로운 티타늄 표면은 기체입자와 화합물을 형성하거나 증가된 표면에너지를 줄이기 위해 분자결합을 함으로써 기체입자를 제거하게 된다.)
3.2. Cryogenic pump
cryogenic 펌프는 '저온(cry
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