피에조 스캐너

목차

초전성(Pyroeletricity)
 
압저항형(Piezoresistive) 센서: Strain-gauge Techniques for SPM scanner

<응용분야>

본문내용

(4)광통신 분야에서는 광의 차단 및 반사를 위한 미러 위치 조절용 대변위, 고속, 저소비 및 소형 스위치를 압전세라믹 구조를 MEMS공정에 의해 bimorph나 unimorph로 만들어서 사용, 개발 되고 있다. 이러한 분야에는 높은 d33과 kp(전기기계결합 계수)가 요구되는 PMN-PT전왜, 압전소재가 필요하다.
(5)우주용 및 소형 밸브, 펌프에는 높은 출력압력(~kN), 고변위(수십 m~수mm)및 높은 정밀도(수 m~수십nm)를 요구하는 적층형 액츄에이터를 연구 개발중에 있다. 이러한 분야에서 가장 중요한 사항은 내구성 및 피로 안정성이다. 열적 안정성 및 피로특성을 향상하기 위하여 압전체의 내구성, 열안정성, 내피로특성을 위하여 인듐이나 망간과 같은 원소들을 첨가하여 안정성 향상을 꾀한다.

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