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피에조 스캐너
(4)광통신 분야에서는 광의 차단 및 반사를 위한 미러 위치 조절용 대변위, 고속, 저소비 및 소형 스위치를 압전세라믹 구조를 MEMS공정에 의해 bimorph나 unimorph로 만들어서 사용, 개발 되고 있다. 이러한 분야에는 높은 d33과 kp(전기기계결합 계수
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  • 등록일 2004.04.29
  • 파일종류 한글(hwp)
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