압력계의 종류

목차

[1] 액주식 압력계에 의한 방법 (Liqued Column Manometer)

[2] 탄성형 압력계에 의한 방법 (Elastlc Gauge)

[3] 전기 및 전자식에 의한 압력측정

[4] 분동식 압력계 (Dead Weight Tester)

[5] 진공측정

본문내용

rani sensor 의 구조
② 열전대 진공계(Thermocouple Type Vacuum Gauge)
⒜ 측정범위 :
⒝ 특 징 : 연속측정이 가능하며 비교적 견고하다.
Gas의 종류 및 주위온도에 영향을 받는다.
진공도에 비례하는 전기신호 출력이 가능하다.
⒞ 원 리 : Filament의 열용량이 아주 작은, 가는 Thermocouple의
Hot Junction을 용착시켜 진공도 에 따른 Filament의
온도변화를 측정하므로 진공도를 알아내는 방법.
⒟ Thermocouple 대신에 Thermister를 사용한 것도 있으며,
이러한 것을 Thermister 진공계 라고 한다 [그림 ] 열전대 진공계
③ 열전도율을 이용한 진공계의 사용상 주의점
⒜ 측정시 Sensor는 가능한 Gas 분자의 흐름에 의한 오차가 생기지 않도록 설치한다.
⒝ 동작중인 Sensor가 갑자기 대기에 개방되면 Filament가 소손되므로 주의한다.
⒞ Sensor가 오염되면 오차가 심하고, 감도가 떨어진다.
⒟ 계기 선정시에는 Gas종류에 대한 교정곡선을 확인하고, 피측정 기체에 알맞은 것을 선택한다.
⒠ Sensor와 계기 본체 사이 연장선의 접속은 접촉저항을 최소로 한다.
⒡ 정도가 낮은 계기이므로 주기적으로 기준기와 비교하여 사용한다.
(3) Ion Gauge
기체 분자들은 그 자체가 전하를 가지고 있지는 않지만, 양성자와 전자들로 구성되어 있다. 그런 상태에서 전자를 제거하면 기체분자는 양성을 띠게 되며, 이것을 이온이라 부르며, 전자를 잃게 되는 과정을 이온화라 한다. Ion Gauge 는 기본적으로 Anode, Cathode, Grid로 이루어진 3극 진공관과 같으며, Cathode를 Anode에 비해 (-)전위를 갖게 한후 가열하면 Anode를 향해 전자가 방출되며, 빠른 속도로 튀어나온 전자들은 진공관 속의 기체분자와 충돌하게 되며, 이로인해 기체분자들은 이온화 된다. 전자의 흐름 이 일정한 경우 이온의 수는 기체분자의 숫자, 즉 진공도에 비례하며 이 이온들은 Grid로 몰리어 Grid 에 이온전류를 흐르게 하며 이 전류의 크기 로서 진공도를 측정하는 것이다. 측정범위는 정도까지 측정할 수 있으며, 단점으로는 기체중에는 이온화가 잘되지 않는 것도 있으며, 기체의 종류에 따라 Gauge감도가 다르며, Gauge Tube가 Ion Vacuum Pump 역할을 하는 것이다.
[그림] Ion gauge

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