플라즈마생성과 원리

소개글

플라즈마생성과 원리에 대한 보고서 자료입니다.

목차

플라즈마란 무엇인가?

플라즈마의 생성

플라즈마의 특성

Chamber안에서의 DC플라즈마

Chamber안에서의 RF플라즈마

본문내용

정의
- 이온화한 기체로서 고체,액체,기체도 아닌 물질의 제4상태
- 동일한 수의 양(+)과 음(-)의 전위를 갖는 소립자(전자, 이온 등)을 포함하고 있는 부분적으로 이온화한 가스
- 고체보다도 높은 밀도로 압축가능하며 기체상태와 같이 낮은 압력에서도 존재가능한 물질
예) 번개, 거리의 네온싸인, 극지의 오로라, 태양
구성
- 전자 : (-)전위를 갖음
- 이온 : (+)전위를 갖음
- 원자나 분자 : 이온화되지 않은 자연상태
반도체, 박막공정의 플라즈마
- 전자와 양이온의 수 : 109~1011전자/cm3(0.1 torr)
- 이온화되지 않은 원자나 분자의 수 : 3*1014분자/cm3
일반적으로 공업적으로 사용하는 플라즈마
- 만개/백만개의 분자나 원자중에 한 개가 이온화 된

키워드

플라즈마생성원리,   플라즈마특성,   DC플라즈마,   RF플라즈마,   기체방전