FIB (Focus Ion Beam) 에 관한조사

소개글

FIB (Focus Ion Beam) 에 관한조사에 대한 보고서 자료입니다.

목차

FIB(Focus Ion Beam)의 개요 -------------------------- 3
- 광원 (빛의 발생원) --------------------------------- 4
- 광학계(光學系) ------------------------------------- 5
- Focus Ion Beam의 조사(照射) --------------------- 6
SEM(Secondary Electron Microscope)의 개요-------- 7
- SEM의 원리 ----------------------------------------- 8
- 선원(線源) -------------------------------------------9
TEM(Transmission Electron Microscope)의 개요----- 10
- 초고압전자 현미경(超高壓電子顯微鏡)------------- 11

본문내용

FIB (Focus Ion Beam) 의 개요
Focus Ion Beam장치는 집속 빔을 시료 표면에 주사해서 발생하는 2차
이온등을 검출해서 현미경상을 관찰 또는 시료 표면을 가공하는 장치
입니다.
광원 (빛의 발생원)
Focus Ion Beam장치에서는 Ion Gun, Ion Source라고 부르는 것이 일반적
입니다. 예리한 금속의 끝부분과 인출전극 사이에 전계(Electonic Field)를
걸어 전하를 인출시킨 후 가속전압으로 가속시켜 충돌시킵니다.
Ion beam의 Ion Source경우에는 액체금속Gallium (융점 29.75℃, 69.723(1) g/mol)을 사용합니다.
가속전압은 +5kV ~ +30kV정도를 일반적으로 사용하는데, 가속전압이 높을 수록 시료에
Denage가 커지므로 최적인 값인 +30kV을 사용하는것이 일반적입니다.

키워드

FIB,   Ion Beam,   SEM,   TEM,   마이크로 스코프,   나노,   측정장비