MEMS 센서 개요 및 장단점, 설계

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MEMS 센서 개요 및 장단점, 설계에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 개요

2. 설계

3. 장단점

본문내용

소요되는 인력과 경비를 절감하고 설계주기를 단축시키기 위한 마이크로머신 전용 cad시스템의 필요성의 대두되고 있다.

3. MEMS 장단점
A. 장점
MEMS의 장점으로 몇 가지를 들 수 있다. 첫째로, MEMS공정은 반도체 제작 공정을 이용하므로 초소형(수 um ~수백 um크기)으로 제작할 수 있으며, 일괄 공정에 의한 대량생산이 가능하다. 이로서 소자의 크기와 단가 및 소비전력을 크게 낮출수 있다. 둘째로, 기계부품과 센서, 전자회로 등을 한 칩에 집적하여 높은 신뢰도를 얻을 수 있다. 셋째로, 작은 소자를 이용하여 미량의 물질을 다루거나 분석할 수 있고, 다수의 소자를 집적하여 분석시간을 대폭 줄일 수 있다. 현재 MEMS는 화학, 생물, 의학, 기계, 전자 분야에서 응용되고 있으며 앞으로 응용분야가 더 넓어질 것으로 기대된다.
B. 단점
비선형적 특성을 가지고 있다. 이 문제는 현재 피트백을 사용해 해결 해 나가고 있는 추세이다.
참고 문헌(사이트 주소)
* machinenow 사이트 http://contents.machinenow.co.kr/pro/mems/index.php
* 네이버지식인(naver 지식 in)
http://kin.naver.com/open100/db_detail.php?d1id=11&dir_id=110202&eid=5PuEqGtcrTjD/+8a0fN/2D3O4RQJ3m/g&qb=bWVNcw
* http://wwwold.ajou.ac.kr/~mems/
* 개인 블러스
http://blog.naver.com/hedger?Redirect=Log&logNo=80021172860

키워드

MENS,   MEMS,   MEMS 센서,   MEMS 개요,   MEMS 장단점