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까지 소요되는 인력과 경비를 절감하고 설계주기를 단축시키기 위한 마이크로머신 전용 cad시스템의 필요성의 대두되고 있다.
3. MEMS 장단점
A. 장점
MEMS의 장점으로 몇 가지를 들 수 있다. 첫째로, MEMS공정은 반도체 제작 공정을 이용하므로
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MEMS에 응용되는 무전해 니켈 도금을 이용한 마이크로 구조물의 제 조\", 한국부식학회지, VOL. 29. (2000).
3. 인터넷 두산세계대백과
4. 김남일, 장시성, \"무전해도금,\" 17, 동화기술(1996).
5. N. I. Kim and S. S. Chang, Electroless Plating, Donghwa press, 98 (1996).
6.
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장단점
장점) - 증착속도 빠르다 (50A/sec)
- 고융점 재료의 증착이 가능하다
- Multiple deposition이 가능하다
단점) - X-ray 발생
- E-beam source위에 원자의 농도가 크므로
와류 또는 discharge가 심하다
※ 참고자료
http://www.semipark.co.kr/semidoc/basic/plasma.asp?tm
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)
Embedded System (내장형 시스템)
하드웨어를 기반으로 목적에 맞는 프로그램이 장착된 시스템 RFID (Radio Frequency Identification)개념
RFID (Radio Frequency Identification)특징
RFID (Radio Frequency Identification)장단점
RFID (Radio Frequency Identification)미래
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장단점이 있는지 알아보자.
4. 유비쿼터스 환경에서 자신의 상황에 적합한 서비스를 받고자 필요한 기술을 조사하시오
5. RFID의 미들웨어에서 대량의 데이터 스트림 처리를 위한 요구사항을 조사하시오.
연습문제 7장
1. RFID를 바코드
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MEMS 설계 원리를 학습했으며, ‘아세톤 감지용 가스 센서 공정 설계’ 팀 프로젝트를 통해 실제 반도체 공정 설계를 수행했습니다. RF magnetron sputtering, 열 산화, 산소 환경 조성 등 실질적 공정 요소를 논문 기반으로 구현하며 공정 흐름을 체득
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