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증착원리와 과정
E-beam evaporator는 이 공정은 주로 용융점이
높은 금속 (W, Nb, Si..)과 유전체(SiO2)의 박막을
기판 위에 증착 할 수 있는 장비로써, 반도체 공정
및 MEMS 공정에 필요한 전극 제작에 주로 사용되는 공정이다.
E-beam source인 hot filament에
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증착이 되어 색이 변해있음을 발견할 수 있었다.
6. 참고문헌
- 네이버 백과사전 : 실험이론요약 부분
- 박막광학 (황보창권 저, 2008, 테크 미디어) : 결과토의, Megnetron Sputtering
- 개날라리 연구원 : 연구과제 자료조사
(http://marriott.tistory.com)
- 고
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이용 기술
태양 전지의 역사
태양 전지의 장점
태양 전지의 단점
태양 전지의 이해
태양 전지의 원리
태양 전지의 종류
태양 전지의 핵심 기술
태양 전지의 이용 분야
전세계 및 우리나라 동향/현황
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이용하는 방식, 최근에는 전기장 이외에 자기장을 이용한 마그네트론 스퍼터링 방식 등이 있다. 1. 진공 [眞空, vacuum] 이란??
2. 진공펌프
- 펌프의 기본원리 -
3. 현대 물리학에서의 진공
4. 진공의 응용
플라즈마
스퍼터링
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sputtering.htm
5. 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 TiB₂박막의 저온 증착 및 접착력 향상 기술에 관한 연구 이승훈, 서울대학교 대학원, 2006. 1. 박막 증착법의 원리에 따른 구분
2. 스퍼터링 방법 종류와 그에 대한 설명 및 비교
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