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장단점
장점) - 증착속도 빠르다 (50A/sec)
- 고융점 재료의 증착이 가능하다
- Multiple deposition이 가능하다
단점) - X-ray 발생
- E-beam source위에 원자의 농도가 크므로
와류 또는 discharge가 심하다
※ 참고자료
http://www.semipark.co.kr/semidoc/basic/plasma.asp?tm
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sputtering법의 개요를 그림을 그려 설명하고 장단점을 비교하라.
6. RF magnetron sputtering법에서 고주파 전원 및 자계를 이용할 경우 유리한 점을 설명하라.
7. 초전도체가 완전 반자성을 갖는 이유를 설명하라.
8. 초전효과 & 압전효과
9. ver
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논문, 2006. 1. OLED의 개요
2. OLED 발광 원리
3. OLED의 장단점
4. OLED의 재료
1) 정공 주입 및 수송 재료
2) 전자 주입 및 수송 재료
3) 전극재료
4) 발광재료
5. OLED의 구조와 효율
6. OLED의 구동방법
7. OLED의 기술동향
참고자료
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sputtering)
가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다. 이 구조의 가장 큰 단점으로는 비전도성 물질의 스퍼터링이 불가능하다는 것이지만 가장 일반적으로 손쉽게 사용할 수 있다는 것이 장점이다. 또한 이 장치는 반
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장단점
(2).스퍼터링의 종류
(2-1) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)
가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다. 이 구조의 가장 큰 단점으로는 비전도성 물질의 스퍼터링이 불가능하다는 것이지만 가장 일반
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장단점]
주위 사람들은 제가 좀 지나치게 세심하다고 지적하지만, 저는 그러한 세심함이 인간관계를 맺는데 있어서,혹은 무슨 일을 하던지 꼼꼼하게 처리할 수 있는 요인이라고 생각합니다. 또한 저는 항상 상대방의 입장에서 편안한 상대가
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sputtering, 열 산화, 산소 환경 조성 등 실질적 공정 요소를 논문 기반으로 구현하며 공정 흐름을 체득했습니다.
“실전 프로젝트에서의 공정 적용”
종합설계 프로젝트에서는 다공성 막에 silane을 균일하게 증착하기 위해 박막 증착 기술을 응
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