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박막이 전자, UV, 이온 등에 노출되어 가열된다.
-> 기판 holder의 수냉이 필요하다
- 성막조건이 민감하고 서로 영향을 끼친다.
-> Ar 기체 압력, 전압, bias 전압, 기판온도 등을 조절한다.
3) E-beam evaporator의 증착원리와 과정
E-beam evaporator는 이
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증착(evaporation)
2) 스퍼터링(Sputtering)
3) 이온플레이팅(ion plating)
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증착되어 막을 형성하는 것이다.
아크 방전은 원리상 대기압에서도 일어날 수 있으나 진공에서
일어날 때 박막의 질이 훨씬 더 우수해진다. 음극 아크란 무엇인가?
음극 아크를 이용한 박막 증착법의 원리
음극 아크를 이용한 응
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원리 및 활용\' 김기준, 이종선, 성기천, 양재웅, 이후설 共著, 대영사, 1997
2) \'레이저 기초원리 와 응용\'송순달 著, 청문각, 1999
3) \'현대물리학\' Arthur Beiser , 교보문고 , 1996
4) 두산 세계 대백과 사전
5) IHI ENGINEERING REVIEW, vol.28, 123.
6) 後藤 외,
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3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌프(Oil diffusion pump)
2. 열 증착법
열 증착법
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원리에 대한 궁극적인 이해와 소자 동작 특성에 대한 순석이 수행될 것이며, 이를 바탕으로 고집적화를 통한 핵심 비휘발성 메모리 소자로서의 기능성을 확인해야 할 것이다. 특히 ReRAM은 간단한 구조, 나노 크기 소자제작, 단순한 공정 등의
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제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
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원리
2.1.1 태양전지의 종류
2.1.2 태양전지의 기본 동작원리
2.1.3 태양전지의 광변환 과정
2.2 실리콘계 박막 태양전지의 구조
2.2.1 비정질 실리콘 박막 태양전지
2.2.2 나노결정 실리콘 박막 태양전지
2.2.3 적층형 실
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박막 태양전지의 기본구조
다) 유기박막 태양전지의 제작방법
라) 유기박막 태양전지의 작동원리
마) 유기박막 태양전지의 종류
(1) 단결정 유기 태양전지
(2) 적층형 유기박막 태양전지
(3) 혼합형(blend) 박막 태양전지
바) 유기박막
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원리
3.1.2 냉음극 형광램프의 전기적 및 광학적 특성
3.2 발광 다이오드(LED)
3.2.1 LED 구조 및 원리
3.2.2 고휘도 LED의 전기적 및 광학적 특성
3.2.3 고휘도 LED 응용 및 시장
3.3 평판형 형광램프(FFL)
3.3.1 평판형 형광램프의
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원리를, 반도체공정 수업을 통해 8대 공정에 대한 전문지식을 익혔습니다. 3학년부터는 학부연구생으로 OO대와의 협력 프로젝트에 참여하며 실무 역량을 기르고 있습니다. 저는 학부연구생의 리더로서 기판에 금속 박막을 증착하고 어닐링하
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증착하기 위해 박막 증착 기술을 응용했습니다. 감압 환경을 조성하여 재료가 일정 두께로 증착되도록 제어했고, 이를 통해 기포 제거 효율을 극대화한 유체 소자를 완성할 수 있었습니다. 이 과정은 실제 반도체 공정의 deposition 기술이 어떻
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보시고는)고체확산론을 배웠는데 고체확산론에서 고체확산 방식을 말해라
Si의 결정구조는 어떻게 되는가?
대학원 입학후 무엇을 하고 싶은가?
(박막증착을 하고 싶다고 대답함)증착방법에는 어떤 방법이 있는가?
Mobility가 무엇인가?
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박막증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이
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박막 증착 중 예기치 않은 파티클 발생을 책임지고 해결한 경험이 있습니다. 과제 평가 항목에
수율이 포함되어 있었기 때문에, 화학 기상 증착 과정에서 갑작스러운 파티클 발생은 치명적으로 다가왔습니다.
3.LG화학에서 이루고 싶은 나만
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