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화학기상증착(CVD)법
1) 熱 CVD
2) 플라스마 CVD
3) 光 CVD
4) MO-CVD
5) 레이저 CVD
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쉽기 때문이다. PVD
evaporator : thermal, e-beam, laser
sputtering : DC, RF, 마그네트론스퍼터링
step coverage
CVD
homogeneous reaction & Heterogeneous reaction
Mass Transport Controlled vs Surface Reaction Controlled
Thermodynamics vs Kinetics
MOCVD
PECVD
HW-CVD
Furnace
ICP-CVD
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PVD (물리증착법 : Physical Vapor Deposition)
1. PVD에 의한 코팅방법
2. PVD에 의한 코팅법 종류
3. PVD에 의한 코팅법의 방법 및 원리
1 Evaporation Process
2 Sputtering Process
3 Ion Plating Process
Ⅱ. CVD (화학기상증착 : Chemical Vapor Deposition)
1. CVD 정의
2. CVD 응용
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PVD 코팅보다 모재에 대한 접착력이 대체로 강하다.
.반응 기체의 조성을 변화시켜 줌으로써 코팅 물질의 조성을 쉽게 변화시킬 수 있다.
.장치비가 비교적 싸고 증착 속도가 빨라 경제적이다.
.모재와 코팅층 사이에 변질층 (취약한 eat상)이
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PVD법에 비하여 고속입자의 기여가 적기 때문에 기판 표면의 손상이 적은 잇점 이 있으므로 주목되고 있으며, 국제적으로 기술 개발을 서두르고 있는 분야이기도 하다. CVD(화학기상증착)법은 기체상태의 화합물을 가열된 모재표면에서 반응
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화학기상 증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥6
(1) 결정화 순서
(2) 공 정
(2-1) 전반적 공
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제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
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화학 반응으로 생성된다. 불쾌감, 기침, 두통, 피로감, 숨막히는 증상을 유발한다.
3. 메탄, 오존, 이산화 탄소, 프레온 가스 등이 적외선의 지구 복사 에너지를 흡수하여 지표면의 온도를 상승시킨다.
4. 빗물에 황산이나 질산이 섞여 강한 산성
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화학기상증착장비(CVD) 개발을 서둘러 기존 트랙장비·매엽식 세정장비(SWP) 등과 함께 전공정 장비 분야를 확대할 계획을 가지고 있습니다. 저는 부가가치가 높은 주요 전공정 장비를 앞세워 시장을 개척하고 반도체 장비를 설계하겠습니다.
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증착 중 예기치 않은 파티클 발생을 책임지고 해결한 경험이 있습니다. 과제 평가 항목에
수율이 포함되어 있었기 때문에, 화학 기상 증착 과정에서 갑작스러운 파티클 발생은 치명적으로 다가왔습니다.
3.LG화학에서 이루고 싶은 나만의 꿈
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있는 다공성 전극, 전도성 고분자, 금속-유기 골격체(MOF) 기반 소재의 합성과 응용 연구를 수행토록 하겠습니다. 이를 위해 습식 화학 합성, 전기화학적 도금, 스프레이 열분해, 원자층 증착(ALD) 등의 기법을 활용하여 다양한 나노구조 소재를
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기상에 따른 악취 농도 분석 자료' 제작, 상위기관 보고에 활용했습니다. 환경관리자로서 설비 문제 등 현상 분석 시, 제 정보 분석 능력이 이바지할 것입니다.
그 당시, 온도, 습도, 풍속 등 기상 변수 중 혐기조 악취에 영향을 주는 값을 조사
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기상청 시설물 청소 업무에 바로 적용될 수 있다고 생각합니다.
Q9. 본인이 생각하는 좋은 시설물 청소원이란 어떤 사람인가요?
책임감과 성실함을 갖추고, 꼼꼼하고 세심하게 업무를 수행하는 사람이라고 생각합니다. 또한 안전 수칙을 철저
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