음극아크(Cathodic arc)를 이용한 박막증착법의 원리와 응용분야

목차

음극 아크란 무엇인가?
음극 아크를 이용한 박막 증착법의 원리
음극 아크를 이용한 응용 분야
1.음극아크 증착을 이용한 초고경 TiAlSin박막
증착공정
2.음극아크 방전을 이용한 대면적 평판 코팅장치
음극 아크의 발전 전망
출처

본문내용

□ 음극 아크의 원리
아크 방전은 전기적인 breakdown 현상을 말하는 것으로 두 전극
사이에 일정 크기 이상의 전압이 인가되었을 경우 전극 사이의 절
연층 (공기 혹은 진공 )에 순간적으로 절연파괴가 일어나 높은 전
류가 흐르는 현상이다.
아크가 발생되면 급격한 전하 flow가 생기므로 한쪽 극에서 반
대쪽으로 이온과 전자가 방출되며 이 때 고속으로 분출되는 이온
들이 기판에 증착되어 막을 형성하는 것이다.
아크 방전은 원리상 대기압에서도 일어날 수 있으나 진공에서
일어날 때 박막의 질이 훨씬 더 우수해진다.

키워드

음극아크,   박막,   박막 증착법,   TIALSIN,   코팅장치