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증착되어 막을 형성하는 것이다.
아크 방전은 원리상 대기압에서도 일어날 수 있으나 진공에서
일어날 때 박막의 질이 훨씬 더 우수해진다. 음극 아크란 무엇인가?
음극 아크를 이용한 박막 증착법의 원리
음극 아크를 이용한 응
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아크 증발계
TiN의 증착에서 Ti 음극에 아크 방전법을 이용하기도 한다.
3) 스퍼터링계
magnetron을 이용하여 기판을 플라즈마 속에 넣어 플라즈마를 최대한 이용하였다.
※ Coating에서의 변수
이온도금에서 가열, 불균일한 두께나 결정구조의 불량
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증착이란 액체가 증기로 되어 수송되고 성막되는 과정을 말하며,고체가 바로 증기가되어 수송되는 것을 승화라 하며,이것이 박막이 되는 기본 메커니즘이다.
박막의 제조방법
박막의 제조방법에는 음극 전해 성막법, 무전극 또는 무전기
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박막화가 가능하다.
Ⅲ. 음극 스퍼터링은 합금이나 화합물의 막도 제작이 용이하다.
Ⅳ. 음극 스퍼터링은 전류밀도와 전압으로 증착률의 제어가 용이하다.
④ 이온 프레이팅과 이온빔을 이용한 방법
이온 프레이팅(ion plating)법은 진공 증착의
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박막화가 가능하다.
Ⅲ. 음극 스퍼터링은 합금이나 화합물의 막도 제작이 용이하다.
Ⅳ. 음극 스퍼터링은 전류밀도와 전압으로 증착률의 제어가 용이하다.
④ 이온 프레이팅과 이온빔을 이용한 방법
이온 프레이팅(ion plating)법은 진공 증착의
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