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2H2(g)
2Ti(g) + N2(g) --> 2TiN(s)
의 반응이 일어나도록 한다. 반응시 생긴 증발상의 금속화합물이 피처리물 표면에 증착되어 결정생성 및 성장을 하게 되어 초경박막이 형성된다.
◎ ION-PLATING 응용
※ 이온도금의 피막 종류
● TiN
일반적으로 가
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색을띠며 뛰어난 내마모와 경도를 나타내어 주로 금형,공구류에 적용 되어지고 있다 1.개요
2.DC-diode 아르곤방전 (원리)
3.아르곤방전시 음극에서의 충돌
4.실제 ion-plating방전
5.실제적인 고려사항 및 상세한 계의 내용들
6.응용
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남기기 때문에 표면경도가 높아 내마모성이 좋으며 피로 수명이 연장된다. 1. 개요
2. DC-diode 아르곤 방전
3. 아르곤 방전에서 음극에서의 충돌
4. 실제 ion plating 방전
5. 실제적인 고려사항 및 상세한 계의 내용들
6. 응용
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이온이 전장에 의해 가속되어 코팅될 물질(target)의 표면을 강하게 치면 target의 원자가 운동에너지를 가지고 튀어 나와 모재의 표면에 충돌하면서 증착되는 방법
3) Ion Plating Process
코팅될 물질을 어떤 방법에 의해 기화시키고, 이 기화된 원
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ion plating법으로 코팅한 것과 거의 수명이 비슷하면서도 내 산화성과 내마모성이 좋다.
Figure . Flank wear of uncoated, TiN coated, and (Ti,Al)N coated punching tools
(2) Sputtered decorative coatings
① TiN계는 장식용 코팅으로 많이 쓰이고 있다.
② 막의 빛깔은 기체
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