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PAPVD법에서 압력은 3∼5mtorr 범위로 유지하고 기판을 움직여 코팅을 균일하게 하려고 노력한다.
6. 응용
* 절단용 공구강에 있어 PAPVD와 CVD코팅의 비교
열적 평형에 의해 생성된 CVD 티타늄질화물은 전형적으로 0.5 m 정도 크기의 고경각입계를 가
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을 끼친다.
5. 실제적인 고려사항 및 상세한 계의 내용들
PAPVD 과정에서 증기를 생성하는 방법에 따라 크게 증발법과 스퍼터링으로 분류된다. 그렇지만 PAPVD에서 공통적인 특징은 각각의 방법들이 모두 이온의 평균에너지를 증가시키는 것과
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PAPVD 과정에서 증기를 생성하는 방법에 따라 크게 증발법과 스퍼터링으로 분류된다. 그렇지만 PAPVD에서 공통적인 특징은 각각의 방법들이 모두 이온의 평균에너지를 증가시키는 것과 공정 온도를 낮추는 것을 목표로 한다는 점이다.
※ 상업
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