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흡착방법
(2) 진공 증착
① 물리적 기초
② 실험 기술
(3) 이온을 이용하는 방법과 음극 스퍼터링
① 2극 스퍼터링의 원리
② 음극 스퍼터링의 몇 가지 특수한 장치
③ 저압 음극 스퍼터링
④ 이온 프레이팅과 이온빔을 이용한 방법
5) 막
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자장도 가해서 박막을 만들 수 있도록 된 것 이다. 비교적 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다. 이 장치는 <그림1-18>에서 보여준 것과 유사한 것인데, 즉 전극 ②와③ 사이에 고주파 전원을 걸어 준 것이 그것과 다를 뿐이다.
b. 진공 증착
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