|
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌프(Oil diffusion pump)
2. 열 증착법
열 증착법
|
|
|
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌프(Oil diffusion pump)
2. 열 증착법
열 증착법
|
|
|
진공을 요구한다. 즉, 중간에 다른 기체 분자들과 부딪혀서 기판에 닿지 못하거나 중간에 열을 잃어버려서 고체로 변해버리는 문제를 막기 위함이다.
다음으로 CVD에 해당하는 증착법에는 MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), HVPE(Hydride Vapor Phas
|
|
|
PVD의 정의
진공상태에서 화학반응을 유발시키지 않고 증착 시키려고 하는 물질을 Vaporized Atomic 형태로 Thin Film을 형성 하는 것을 의미.
PVD의 종류
스퍼터링, 전자빔증착법, 열증착법, 레이저분자빔증착법, 펄스레이저증착법등.
→ 증착 시키
|
|
|
진공 펌프를 주의 깊게 사용하여 \"U\"자 관내의 수은이 오른 쪽이 왼쪽보다 약 2-3 cm 높아지도록 한다. 그 후, \"U\"자 관의 수은의 높이가 같아지도록 C의 needle valve를 이용하여 manifold 내부로 공기를 주입한다. 이때 open-end manometer(A)의 각 수은주
|
|
 |
(주)제일진공펌프에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
|
|
|
(주)제일진공펌프에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
|
|
 |
(주)제일진공펌프에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
|
|
|
(주)제일진공펌프에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
|
|
|
우성진공펌프(주)에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사
|
|
 |
펌프 전양전의 저하가 3%( )가 되는 경우의 흡입조건에서 계산
② Thoma의 Cavitation계수 graph에 의한 계산
Thoma의 계수 =
③ 비속도에 의한계산
예) rpm : 1750 Q : 2.4 : 1300 일 때 NPSHr 는?
이 펌프는 임펠러 입구에서의 진공도가 0.478 로 흡입능력은 1.033
|
|
 |
추는 것이 필요합니다.
두 번째 도전은 진공 시스템의 유지보수 및 관리입니다. 진공 펌프와 같은 중요한 부품은 일정 시간이 지나면 성능이 저하되므로, 주기적인 점검과 예방적 유지보수가 필요합니다. 이를 위해, 진공 시스템의 점검 주기
|
|
 |
성능이 저하되는 경향이 있음을 발견했습니다. 이를 해결하기 위해 예방적 유지보수와 주기적인 성능 테스트를 도입하였습니다. 진공 펌프의 성능을 주기적으로 테스트하고, 문제가 발견되면 즉시 교체하는 시스템을 마련하였습니다. 또한,
|
|
 |
진공도가 점점 나빠지고 있었음을 확인했습니다. 체임버의 개스킷을 교체하고 진공 펌프를 재시작하여 다시 측정을 진행했고, 결국 10% 이내인 0.2Å으로 오차를 줄이는 데 성공했습니다.
실리콘 기판으로 샘플을 제작하여 구조를 분석했는데,
|
|
메뉴펼치기
