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종류
스퍼터링, 전자빔증착법, 열증착법, 레이저분자빔증착법, 펄스레이저증착법등.
→ 증착 시키려는 물질이 기판에 증착 될 때 기체 상태가 고체상태로 바뀌는 과정이 물리적인 변화이기 때문. PVD의 정의
PVD의 종류
PVD의 원리
PVD의
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증착법
종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
- 대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD) 방막증착종류
화학적 증착
물리적 기상증착
결론
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증착법을 이용한 TiB₂박막의 저온 증착 및 접착력 향상 기술에 관한 연구 이승훈, 서울대학교 대학원, 2006. 1. 박막 증착법의 원리에 따른 구분
2. 스퍼터링 방법 종류와 그에 대한 설명 및 비교
3. 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그
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증착
Me
"
금속
0.17-167
화학증착법
(CVD)
회학증착
Me, MexBy, MexCy, MexNy,MexOy,MexSy,
기타 합금
1000-2273
금소염화물
금속수소화물
유기금속화합물
0.33-83.3
plazma CVD
“
573-1473
“
“
물리증착확산법의 종류
종 류
진공증착
이온 플레이팅
스퍼터링
입자생
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물리증착법 : Physical Vapor Deposition)
1. PVD에 의한 코팅방법
2. PVD에 의한 코팅법 종류
3. PVD에 의한 코팅법의 방법 및 원리
1 Evaporation Process
2 Sputtering Process
3 Ion Plating Process
Ⅱ. CVD (화학기상증착 : Chemical Vapor Deposition)
1. CVD 정의
2. CVD 응용범위
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