디스플레이 방막증착방법 PPT 발표자료

소개글

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목차

방막증착종류
화학적 증착
물리적 기상증착
결론

본문내용

화학 증착 증착법(CVD)

정의
- 열의 분해과정 및 기체 화합물의 상호작용에 의해 기판의 표면에 박막을
형성하는 증착법

종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)

- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)

- 대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)

키워드

deposition,   증착,   물리적,   화학적,   PVD,   CVD,   sputtering,   sputter