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박막과 증착의 정의
박막이란 전기적,결정적 특성이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있다.
증착이란 액체가 증기로 되어 수
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증착된 기판에 일정한 로드로 누르는 동시에 기판을 회전시키면서 마모, 마찰 특성을 측정한다. 일정 시간동안 마모된 박막의 양을 기록하면서 컴퓨터로 마모율을 계산한다.
⑧ 박막의 전기적 특성 - 박막의 저항을 측정한다. 표면저항은 보
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증착의 개념
고진공에 놓은 용기 속에 피복될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속입자를 증발시키면, 차가운 물체 표면에 응축해서 부착하는 것을 이용하여 표피를
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화학 증착 증착법(CVD)
정의
- 열의 분해과정 및 기체 화합물의 상호작용에 의해 기판의 표면에 박막을
형성하는 증착법
종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhance
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1. 화학기상증착(CVD)법
- 화학기상증착(CVD)은 여러가지 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 널리 쓰이고 있는 방법이다. 간단히 말하면 반응기체의 유입 하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는데,
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