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MEMS공정은 반도체 제작 공정을 이용하므로 초소형(수 um ~수백 um크기)으로 제작할 수 있으며, 일괄 공정에 의한 대량생산이 가능하다. 이로서 소자의 크기와 단가 및 소비전력을 크게 낮출수 있다. 둘째로, 기계부품과 센서, 전자회로 등을 한
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Bio-MEMS는 의료, 생물학 분야에서 다양하게 활용될 수 있을 뿐만 아니라 고부가가치를 창출할 수 있어 특정 목적에 맞는 소량의 제품 생산이 가능
Bio-MEMS는 Biotechnology와 MEMS (Micro Electro Mechanical System)의 합성어로서 체내 혹은 체외에서 생체신호
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센서에는 0.4mm각에 두께 0.1mm의 소형자석을 붙인 캔틸레버를 사용하여 그 움직임을 MI센서로 읽어낸다.
<캔틸레버>
캔틸레버의 제조는 MI소자와 같이 MEMS기술을 사용한다. 캔틸레버에 붙은 자석은 MEMS기술로 가공하지만, 이러한 가공기술을
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센서에 의한 가속도 측정
6-5 각각 측정 한 가속도 값들 비교 및 오차 원인 분석
7. MEMS 센서를 이용한 응용사례 한 가지 조사
7-1 MEMS 센서의 적용 현황 및 응용분야
7-2 압력센서
7-3 가속도 센서
7-4 각속도 센서 (angular velocity sensor/yaw rate s
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MEMS 기술에 의해 모든 기기가 더욱 초소형화되면 전자공간과 물리공간이 연결되는 진정한 유비쿼터스(ubiquitous) 사회가 구축될 수 있다는 전망도 있다(김정환, 2003). MEMS 기술은 현재에도 MEMS 센서에 접목될 수 있는 고분자나 미소 재료의 개발
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MEMS 설계 원리를 학습했으며, ‘아세톤 감지용 가스 센서 공정 설계’ 팀 프로젝트를 통해 실제 반도체 공정 설계를 수행했습니다. RF magnetron sputtering, 열 산화, 산소 환경 조성 등 실질적 공정 요소를 논문 기반으로 구현하며 공정 흐름을 체득
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MEMS 시스템에 대해 학습한 후 이를 구현하기 위한 가공법을 배웠습니다.
마이크로시스템 과목에서 ‘아세톤 감지를 위한 반도체식 가스센서 공정 설계’를 주제로 팀 프로젝트를 수행하고 직접 수업을 진행하여 우수팀으로 선정된 경험이 있
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