분석기기의 원리 이론

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목차

SEM의 원리
SEM (Scannng Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호

본문내용

기되어 있어서 Scanning된 부분이 CRT상의 Image Area와 동일하게 된다. 배율은 Scan area를 변화시켜서 조정한다. (Scan area가 작아질수록 고배율이 된다.)
SE Detector
Collector에 Bias를 걸어서 S.E를 끌어 모으고 Scintillator tip을 통과해서 PMT에서 증폭이 가능하도록 전류로 변환한다.

키워드

SEM,   Electron Gun,   Objective Lens,   Scancoil