목차
1. ESD(정전기)의 실체
2. ESD의 모형
3. ESD를 어떻게 방지할 것인가?
4. ESD방지도구
5. 공정별 정전기 대책
2. ESD의 모형
3. ESD를 어떻게 방지할 것인가?
4. ESD방지도구
5. 공정별 정전기 대책
본문내용
정전기(ESD)란?
전기중 흐르지 않고 정지된 전기가 정전기이다.
정전기는 양전하나 음전하가 한 곳에 몰려 있는 전기이다.
정전기는 부도체가 전자를 잃거나 얻음으로 대전될 때 부도체 표면에 생긴다.
정전기는 주로 두 물체간 마찰이 발생하면 한 물체는 Positive(양)의 전하가, 다른 한 물체는 Negative(음)의 전하를 띠게 된다.
양,음의 전하를 띠게되는 물체는 방전(放電)하여 중성화(中性化) 하려는 성질이 있어 저항이 가장 적은쪽으로 Ground를 형성하여 급속한 방전을실시한다.
이때 급속한 방전으로 급전류(궁극적으로 전력)가 흐르게 되고, 이 전력은 열(熱)로 나타난다. 이 뜨거운 열이 IC 내부의 배선인 Al(알루미늄)을 녹이고, 층간 절연막인 SiO2를 파괴시켜 IC를 못 쓰게 만든다.
전기중 흐르지 않고 정지된 전기가 정전기이다.
정전기는 양전하나 음전하가 한 곳에 몰려 있는 전기이다.
정전기는 부도체가 전자를 잃거나 얻음으로 대전될 때 부도체 표면에 생긴다.
정전기는 주로 두 물체간 마찰이 발생하면 한 물체는 Positive(양)의 전하가, 다른 한 물체는 Negative(음)의 전하를 띠게 된다.
양,음의 전하를 띠게되는 물체는 방전(放電)하여 중성화(中性化) 하려는 성질이 있어 저항이 가장 적은쪽으로 Ground를 형성하여 급속한 방전을실시한다.
이때 급속한 방전으로 급전류(궁극적으로 전력)가 흐르게 되고, 이 전력은 열(熱)로 나타난다. 이 뜨거운 열이 IC 내부의 배선인 Al(알루미늄)을 녹이고, 층간 절연막인 SiO2를 파괴시켜 IC를 못 쓰게 만든다.
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